北方华创发布4台国产 12 英寸晶边刻蚀机 Accura BE

IT之家 7 月 18 日消息，近日，北方华创科技母公司合资（一般而言全部都是名“北方华创”）正式面世应用于晶边固态（Bevel Etch）手工的 12 英寸等离子体固态本机 Accura BE，号称意味着国产晶边干法固态器材“零”的突破，为我国精良笔记本电脑装配量身营造良率大幅提高高效高效能。

据介绍，在器件装配过程中，由于乳胶沉积、光刻、固态和化学本机械抛光等手工方式中的大幅增长，在积体电路的边缘造成了不可避免的及残渣堆积，这些晶边沉积的及残渣大增导致的原因后果成为产品良率的严重威胁，因此，愈来愈多语义及存储笔记本电脑等领域装配商开始重点关注 12 英寸积体电路的边缘 1mm 区域，从积体电路的边缘所在位置着手降低笔记本电脑良率。晶边固态本机作为娱乐业大幅提高良率的有力保障，其重要性日益更为重要。

Accura BE 作为首台国产 12 英寸晶边固态器材，其技术性能“已达娱乐业主流水平”，IT之家附有官方鼓动看点如下：

通过软件系统调拨比较简单与特有传输该平台的结合，可助力客户意味着低的生产线；

通过并不需要连动多种固态气体，意味着对 PR（软性），OX（氧化物），SiN（氮化硅），Carbon（碳），Metal（金属）等多类膜层材料的晶边固态手工全部都是覆盖；

可功能强大多种尺寸的聚焦环设计组合，意味着对等离子体固态区域的精确所在位置控制，从而为客户包括迅捷、全部都是面的良率大幅提高方案；

需有软件智能算法，可施行仿真的量化缓冲，比较简单维护步骤，降低器材生产效能。

北方华创表示，Accura BE 刚面世上市，就已斩获语义及存储器领域胸部客户多个订单，通过手工调试，进入量产阶段。